中国科学院微电子研究所
1958年在北京成立的科研机构
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历史版本
中国科学院微电子研究所（以下简称“微电子所”）所属机构为中国科学院，位于北京市，成立于1958年，是中国微电子科学技术与集成电路领域的重要研发机构。 [1][3][4][5]2022年，微电子所获省部级及社会力量奖项9项。[9]微电子所在半导体器件与集成电路制造、集成电路设计与应用、集成电路装备等领域展开科研工作，具备从原理器件、集成工艺、制造装备到核心芯片开发的全链条、体系化科技创新与关键核心技术攻关能力。[1]
中国科学院微电子研究所前身为原中国科学院109厂，成立于1958年。[10]1970年8月，109厂共完成8台156计算机所需的混合单块集成电路3万余块及晶体管芯片4万余个。至此，中国从晶体管计算机时代进入单块集成电路计算机时代。[11]1986年，109厂与中国科学院半导体研究所、中国科学院计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分单位合并，成立中国科学院微电子中心。[12] 1995年自主开发成功中国国内首个0.8微米成套工艺，“0.8微米集成电路制造技术”入选当年“中国国内电子科技十大新闻”。[13]2003年9月，正式更名为中国科学院微电子研究所。[10]2011年，微电子所研制成为中国国内第一个低温可充气真空辐射系统。[14]2018年10月，被评为全国中小学生研学实践教育基地。[15]
微电子所在半导体器件与集成电路制造、集成电路设计与应用、集成电路装备等领域展开科研工作，设有13个研发单元。 微电子所2024年在职职工1千余人，其中包括中国科学院院士2人、高级专业技术人员480余人。 微电子所是国务院学位委员会批准的博士、硕士学位授予权单位之一，是中国科学院大学集成电路学院主承办单位，现设有集成电路科学与工程、电子科学与技术、光学工程三个一级学科。共有在学研究生1600余人，在站博士后44人。[1]截至2021年4月，微电子所设有1个博士后流动站，2个一级学科博士培养点，3个硕士培养点，1个工程硕士培养点。 [7]