超纯水
被净化到高规格水平的水
条目
历史版本
超纯水（Ultrapure water）简称UPW，是被净化到高规格水平的水，其纯度极高，杂质含量极低，不属于日常饮用水。 [1]超纯水是在纯净水的基础上，将水中的导电介质，不离解的胶体物质、气体及有机物几乎完全去除。[2]超纯水的标准是：水中仅含有 H20，以及适度数量的 H+ 和 OH- 离子。 其电阻率为 18.2 MΩ.cm、TOC < 10 ppb、细菌数 < 10 CFU/ml。 要归类为超纯水，水中不得含有任何可检测的内毒素。[3]
超纯水可用于清洗和制造半导体元件，以防止微粒和痕量污染物的存在影响产品质量。[4]电子级超纯水是半导体制造的基础性生产物料，在产品清洗和蚀刻中发挥重要作用，用量极大。[5]超纯水的制备过程包括多种净化技术，如过滤、紫外线消解、离子交换单元等，以达到几乎去除除水分子以外的所有杂质的目的。[6]在使用超纯水时，需要注意水质的稳定性和安全性。[7]
制备
超纯水的制备过程是复杂且精确的。[6]
超纯水制备设备