精密仪器

产生和测量精密量的设备
精密仪器是指用以产生、测量精密量的设备和装置,包括对精密量的观察、监视、测定、验证、记录、传输、变换、显示、分析处理与控制。精密仪器是仪器仪表的一个重要分支。

分类

按照测量对象的不同,精密仪器可以划分为以下几类:
①几何量精密仪器
主要包括检测各种几何量的精密仪器,如立式测角仪激光干涉比长仪、经纬仪、三坐标测量机、圆度仪、轮廓仪和扫描隧道显微镜等测量仪器。