氮化钽[tǎn]（Tantalum mononitride）是一种化工材料，分子式为TaN，分子量为194.95。用来制造精确片状电阻的材料，氮化钽电 阻则可抵抗水汽的侵蚀。在制造集成电路的过程中，这些膜沉积在硅晶片的顶部，以形成薄膜表面贴装电阻。 物化性质
ε氮化钽为黑色六方结晶。相对密度为13.4，熔点为3090℃，显微硬度为1100kg/mm ，热导率为9.54W/(m·K)，电阻率为128μΩ·cm。 δ氮化钽为黄绿色结晶，属氯化钠型结晶，相对密度为15.6。晶格常数为a=0.4336nm，c=0.4150nm。熔点为2950℃，显微硬度为3200kg/mm ，转化点温度为17.8K。 不溶于水、酸，微溶于王水，溶于氢氧化钾并分解释放出氨，加热至2000℃即释放出氮气。