吴东平

复旦大学微电子研究院主任
吴东平,男,1974年7月出生,微纳电子科技创新平台研究员,博士生导师,上海市东方学者特聘教授。分别于1996年6月和1999年6月毕业于复旦大学电子工程系,获学士和硕士学位。

人物经历

2004年6月毕业于瑞典皇家理工学院,获理学博士学位。2004-2006年在德国英飞凌公司技术研发部门工作,从事65纳米以下超大规模集成电路的器件和工艺的研发。2006-2009年在德国奇梦达公司存储器技术研发部门从事60到30纳米世代存储器的研发工作,任器件和工艺专家、器件研发负责人。2009年6月起任教于复旦大学。现任复旦大学微电子研究院微纳加工和器件实验室主任。兼任欧洲电子器件会议技术程序委员会委员(ESSDERC Technical Programme Committee),在国际期刊和会议上发表了多篇论文并申请了多项专利。现主要承担国家重大专项中相关研究课题,重点针对22纳米世代集成电路工艺和器件技术研究,欢迎有热情有志向的同学参与和加盟。

研究方向

1. 纳米尺度MOS器件:包括超浅结低阻源漏技术,先进金属硅化物工艺,22纳米及以下器件技术等