干式真空泵（Dry Vacuum Pump）也称无油真空泵，是为了满足工业生产对真空环境越来越严格的要求而发展起来的新型真空获得设备。[2][1] 17世纪，葛利克、伽利略等科学家开始研究人造真空，使用的装置是现在干式真空泵的简易版本。1985年，在日本研发并生产了世界上第一台爪型式真空泵，应用于半导体产业链中。1994年，中国自主研发了第一台爪式真空泵，大部分的性能指标都可以与国外的干式真空泵媲美，开始了中国干式真空泵的自主研发道路。为了及时排除故障，德国、美国、英国等公司开发了许多振动监测系统，在干式真空泵工作时，可对设备进行实时监控。[5] 干式真空泵就其基本原理来分，有容积式的无油真空泵和动量传输式的无油真空泵两大类。[4]干式真空泵和油封式机械泵相比，达到同样极限压力其残余气体成分则全然不同，干式泵的抽气不再有油的污染。[4]并可在大气压到10-2Pa压力范围内工作。[3] 干式真空泵广泛应用于航天、半导体、制药、化工等行业，随着工业化水平的不断提高，航天、半导体等行业对真空泵的需求也逐步提高。[3]日本在螺杆压缩机基础上 ，很早就研发出了真空泵的多头转子型线 ，并投入市场 。德国几家真空设备公司也逐步开发出等螺距 、变螺距转子型线 ，并在转子和机体冷却方面做了很多研究 。中国企业在螺杆真空泵的生产进入批量化生产 ，在化工制药等行业得到很好的应用。[6] 干式真空泵在特殊领域，例如半导体工业、电子材料、IT产业等，对真空环境的洁净度提出很高的要求，研制和开发洁净、性价比高、结构简单、抽气效率高的干式真空泵是未来发展的主要方向。[3]