干式真空泵
用于化学工业等领域的机械设备
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干式真空泵(Dry Vacuum
Pump
)也称无油真空泵,是为了满足工业生产对真空环境越来越严格的要求而发展起来的新型真空获得设备。
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17世纪,葛利克、
伽利略
等科学家开始研究人造真空,使用的装置是现在干式真空泵的简易版本。1985年,在
日本
研发并生产了世界上第一台爪型式
真空泵
,应用于半导体产业链中。1994年,中国自主研发了第一台爪式真空泵,大部分的性能指标都可以与国外的干式真空泵媲美,开始了中国干式真空泵的自主研发道路。为了及时排除故障,