微机电系统工程

中国普通高等学校本科专业
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微机电系统工程是中国普通高等学校本科专业，学科门类属于工学，专业类别机械类，修业年限四年，授予工学学士学位。[2]
本专业是国家新兴战略产业相关专业，面向集成电路制造、航空、航天、生物医疗、精密仪器、汽车电子、消费电子等领域，培养掌握先进的微电子制造技术、精密机械制造技术、仪器仪表及测控技术、微机电系统设计制造技术，并具备一定的人文社科和现代管理知识的复合型高级人才；毕业生可在集成电路制造、航空、航天、机械工程、精密仪器、微电子、医疗器械等行业和领域的研究院所、大中型企业、合资企业及高等院校从事科研、设计、生产等方面的工作。[2]

专业发展

微机电系统工程专业是国家新兴战略产业相关专业，该专业涉及介观物理、细观力学、微细加工、微纳测量与控制、功能材料与微纳器件等诸多学科基础理论与工程技术，被誉为对21世纪科技前沿发展具有重大影响的关键学科之一。[3]
清华大学精仪系是中国最早从事微纳米机电系统技术研究的单位之一，并在国内率先设立本科“微机电系统工程”专业。本系在光、机、电技术一体化方面的优势和研究成果为微机电系统工程专业的发展奠定了坚实的基础。[4]截至2023年5月，中国有清华大学、西北工业大学、北京航空航天大学、东莞理工学院开设本专业。[2]