干涉仪
根据光干涉原理制成的仪器
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干涉仪（Interferometer）[2]是一种使用干涉测量技术的光学计量仪器。干涉仪可以根据不同的分类原则进行分类，例如按照干涉光的数量、获得相干光的方法和干涉光之间的频率差等。[3]
干涉仪输出的信息是干涉条纹图，干涉条纹是干涉场中光程差相同点的轨迹，在光学测量中根据干涉条纹的形状、方向、疏密度、颜色，以及条纹移动等情况，就可测量与光程差有关的被测光学量比如 面形、折射率均匀性、平行性误差、反射棱镜和屋脊棱镜的角度误差及棱差、光学系统的波像差等。干涉仪还可用作高分辨率光谱仪器，例如基于迈克耳孙干涉仪发展起来的傅里叶变换干涉光谱仪。在天文学领域，干涉仪还用于测量星体的直径等。干涉仪的优势在于其灵敏度和测量精度通常优于其他光学测量仪器。此外，由于干涉测量一般是非接触式的，因此不会对被测物体造成损伤。在未来，干涉仪的主要应用将进一步拓展到凝聚态物理学、工程学、化学和生物学等领域中的介观结构及其动力学研究。[3]
干涉仪的高分辨率和灵敏度将能够提供更准确的测量结果，为这些领域的研究提供更多的信息和理解。它具有快速高效、非接触和无损伤等特点，并在精度和灵敏度上优于其他类型的光学计量仪器。[3]