超声波清洗机

用高频振荡清洗物体的机器
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超声波清洗机（ultrasonic cleaning machine）[1]，是一种通过超声波产生的机械振荡清除不良物质的机器，具有高精度、快速、安全等特点，主要应用于机械、表面处理、仪器仪表等行业。[2][5][8]
1914-1918年，朗之万（Langevin）发明了夹心压电换能器。20世纪20年代，梅森（Mason）发明变幅杆，它与换能器之间的连接可产生高强度超声波振动。20世纪30年代，美国新泽西州的美国无线电公司技术人员提出超声波清洗技术。[9]
中国超声波清洗器件起始于20世纪50年代初，主要应用于电子、光学和医药等领域，超声波清洗技术实用性很强，涉及范围广泛大到机械零部件，小到半导体器件等的清洗，久而久之俗称其为“无刷清洗”。[10][9]
至20世纪70—80年代，美国及欧洲已经把超声波技术运用到工业生产上。[9]1987年，柴野佳英公开发表了超声波清洗的基本理论。[10]20世纪90年代后期，超声波清洗设备种类繁多，超声波技术逐渐出现在各个领域并逐渐走向成熟，而且高频超声波清洗设备在所有超声波清洗设备中比例最多。[9]
超声波清洗机有多种分类角度，如按用途不同可以分为工业用超声波清洗机、商用超声波清洗机、实验室用超声波清洗机和家用超声波清洗机等；[11]按自动化程度不同，超声波清洗机可分为全自动超声波清洗机、半自动超声波清洗机和手动超声波清洗机。[11]