硅化锆

化合物
硅化,英文名称 zirconium disilicide,分子式 ZRSI2,分子量147.39,物理化学性质密度4.88,主要可用作精细陶瓷原料粉,用于生产半导体薄膜生产用[gān]埚。

概括介绍

中文名称 硅化锆
英文名称 Zirconium disilicide
CAS NO. 12039-90-6