四氟化硅
含氟无机化合物
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历史版本
四化硅（Silicon tetrafluoride[8] ）又叫氟化硅、[2] 四氟甲硅烷[3]，是一种卤化物，[9]为无色气体，[4]结构为正四面体，[8]密度为1.66g/cm3（-95℃，固态），[5]熔点为-90.2℃（在1.757×105Pa下）[6]，沸点为-86℃，[1]溶于乙醇、甲醇等，[6]遇水会发生水解反应，[6]也容易被碱溶液分解。[10]四氟化硅可与碱金属、铝、很多金属氧化物、碱金属氟化物等反应，[6]此外还可与某些有机化合物（丙酮、芳香族胺类等）形成加成产物。[11]
自然界中火山爆发时的烟雾中会含有大量的四氟化硅，大量的四氟化硅是工业上生产磷肥的副产物。可由氢氟酸与含硅矿石反应制得，也可由石英与氢氟酸反应，或由萤石粉和石英砂的混合物与浓硫酸作用来制得。在实验室可用氟硅酸与氯化钡为原料制得，也可用直接由单质硅和F2制得。[5]
四氟化硅在电子和半导体行业中主要作为氮化硅、硅化等的蚀刻剂和高纯石英玻璃的原料，还可用于制备电子级硅烷或硅、太阳能电池、氟硅酸和氟化铝等。此外，四氟化硅还可作为氟化剂、催化剂、蒸熏剂、水泥和人造大理石的硬化剂以及用于化学分析、油井钻探、镁合金浇铸等。[12]但四氟化硅具有一定毒性，急性毒性属于中等毒类，[13]人体吸入可能导致咳嗽、灼烧感、呼吸短促以及呼吸困难等，但是症状可能推迟显现。[14]