1963年获得台湾大学电机 工程学系学士；1970年获得美国俄亥俄州立大学电机工程学系博士；2000年至2015年在台湾积体电路制造股份有限公司任资深处长、杰出科技院士和副总经理；2008年当选美国国家工程学院院士；2014年当选台湾“中央研究院”院士；2015年底从台积电退休。 2018年9月8日在第三届“未来科学大奖”中荣获三项大奖之一“数学与计算机科学奖”。[1] 林本坚专注于半导体制程中的微影技术的 研发，带领团队创造出许多领先全球的技术，包括1.25微米、1微米、0.75微米、0.5微米、0.35微米的微影技术。[4][5]
人物经历
1942年，林本坚出生在越南，从小生长在越南西贡。