磊晶

磊晶
磊晶（英语：Epitaxy），是指一种用于半导体器件制造过程中，在原有晶片上长出新结晶，以制成新半导体层的技术。此技术又称磊晶成长（Epitaxial Growth）；或指以磊晶技术成长出的结晶，有时可能也概指以磊晶技术制作的晶粒。
磊晶技术可用以制造矽电晶体到 CMOS 积体电路等各种元件，但在制作化合物半导体例如砷化镓时，磊晶尤其重要。

成长技术种类

化学气相沉积法，英文： Chemical Vapor Deposition (CVD)
主条目：化学气相沉积